Ausrüstung

Elektrische Ausrüstung

Der Meßplatz zur elektronischen Analyse von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltungen besteht aus folgenden Komponenten:

1. Probestation:
   • analytischer Waferprober (8"-Chuck, Mikroskop laserfähig)
   • abgeschirmte Darkbox + schwingungssicherer Tisch
   • 4 DC - Manipulatoren
   • 2 AC - Manipulatoren
2. DC-Meßtechnik (Erfahrungen K4200):
   • 3 Elektrometer (10fA, 100fA)
   • 2 Spannungsquellen
   • 2 Stromquellen
   • 1 Leistungsstrom-/spannungsquelle (100W)
   • 2 Digital Multimeter
3. AC-Meßtechnik:
   • CV-Analyzer
   • S-Parametermeßplatz (Networkanalyzer 300K - 6GHz)
   • HF-Probes für on-wafer Messung 40GHz
   • HF-Probes für in-circuit Messung 350MHz
   • 4-Kanal Speicheroszilloskop 500MHz
4. Rausch-Meßtechnik:
   • FFT Spektrum-Analysator (476uHz - 100kHz, 5nVrms/sqrt(Hz), 90dB)
   • Rauscharmer Vorverstärker mit einstellbarer Verstärkung
   • Batterie gestützte Versorgung für MOS und Bipolar

Die Ansteuerung der Meßtechnik erfolgt über spezielle selbstentwickelte Programme, so daß zum einen eine flexible Anpassung an die jeweilige Meßproblematik erfolgen kann und zum anderen eine herstellerunabhängige Geräteschnittstelle offengehalten wird.

Das ganze System ist über IEEE488-Bus / Ethernet mit dem zentralen Rechnernetz der DAnalyse GmbH verbunden und somit hinsichtlich der Archivierungs- und Dokumentationsfähigkeiten sehr leistungsfähig. Außerdem kann damit die gesamte Extraktionssoftware dezentral auf leistungsfähigen Rechnern abgearbeitet werden.